Физико-технологические основы макро-,микро, и наноэлектроники
В книге изложены основные физические явления и закономерности, лежащие в основе технологических методов и процессов современной электроники. Наряду с традиционными направлениями технологии, особое внимание уделено наноматериалам и перспективным направлениям нанотехнологии. Изложение построено так, чтобы дать читателю возможность самостоятельно сформировать общие физико-технологические представления путем изучения основных физических, химических и электрохимических закономерностей, как правило, без обращения к другой литературе. Для углубленного изучения отдельных вопросов в конце книги приведен список рекомендуемой литературы. Книга предназначена главным образом студентам как учебное пособие по физико-технологическим основам современной электроники в ее широком понимании, включающем макро-, микро- и нанотематику, но может оказаться полезной и специалистам в этих областях. Рекомендовано учебно-методическим объединением вузов Российской Федерации по образованию в области радиотехники, электроники, биомедицинской техники и автоматизации в качестве учебного пособия для студентов высших учебных заведений, обучающихся по направлениям 210100 «Электроника и наноэлектроника», 211000 «Конструирование и технология электронных средств», 222900 «Нанотехнологии и микросистемная техника».
| Автор | Барыбин Анатолий Андреевич, Томилин Виктор Иванович, Шаповалов Виктор Иванович |
| Издательство | ООО "Физматлит" |
| Дата издания | 2011 |
| Кол-во страниц | 784 |
| ISBN | 978-5-9221-1321-2 |
| Тематика | Электроника. Информационные и компьютерные технологии |
| № в каталоге | 1442 |
Категории: Учебная литература
