Физика СВЧ вакуумно-плазменных нанотехнологий

Арт:1150
Магазин на Бутлерова: В наличии
224,40 ×
В книге обозначены и насколько возможно полно раскрыты современные тенденции и подходы в разработке СВЧ плазмохимического оборудования и нанотехнологий на его основе. Излагаются математическая теория диффузионных процессов и основы теории плазмы газового разряда в магнитном поле, описаны применяемые методы решения стохастических дифференциальных уравнений и уравнений Фоккера - Планка - Колмогорова. Даны обобщение и системное изложение опыта и результатов по разработке физико-технических основ новых типов микроволновых плазменных устройств. Приведены результаты практического использования разработанных микроволновых источников плазмы. Материалы книги могут быть задействованы в учебном процессе в качестве спецкурсов или спецсеминаров для студентов вузов соответствующего профиля.
Автор
Издательство ООО "Физматлит"
Дата издания 2009
Кол-во страниц 216
ISBN 978-5-9221-1150-8
Тематика Фундаментальная и прикладная физика. Астрономия и астрофизика (н)
№ в каталоге 1128

Категории: Научная литература