Физика высокочастотного емкостного разряда
Подробно описаны физический механизм высокочастотного емкостного разряда (ВЧЕР)низкого и среднего давления и свойства плазмы разряда. Исследованы основные свойства и характеристики ВЧЕР, особенности электрического пробоя в высокочастотном поле. Предлагается новая классификация ВЧЕР, частота ВЧ поля трактуется как фундаментальный параметр разряда. Детально рассмотрены свойства приэлектродных слоев пространственного разряда, природа электрического поля в них, процессы транспорта заряда на электроды. Граничные эффекты в ВЧЕР рассматриваются с учетом таких ранее неизвестных эффектов как дискретный механизм транспорта электронов плазмы на электроды, краевой эффект и др. Особое внимание уделено обнаруженному явлению возникновения приэлектродных электронных пучков. Исследованы свойства плазмы ВЧЕР при различных режимах разряда. Подробно рассмотрены методы диагностики ВЧЕР. Монография рассчитана на научных работников , занимающихся физикой газового разряда и низкотемпературной плазмы, аспирантов и студентов соответствующих специальностей.
| Автор | Савинов Владимир Павлович |
| Издательство | ООО "Физматлит" |
| Дата издания | 2014 |
| Кол-во страниц | 308 |
| ISBN | 978-5-9221-1551-3 |
| Тематика | Фундаментальная и прикладная физика. Астрономия и астрофизика (н) |
| № в каталоге | 1658 |
Категории: Научная литература
