Лазерная термометрия твердых тел

Арт:0222
Нет в наличии
0 Р ×
Лазерная термометрия основана на дистанционном измерении температурно-зависимых параметров твердых тел с помощью зондирующего светового пучка и определении искомой температуры по известной температурной зависимости измеренного параметра. Рассматриваются принципы, особенности и ограничения ряда новых методов бесконтактного измерения температуры твердых тел. Проведено сравнение различных лазерных методов по ряду критериев, важных при практическом применении: чувствительности, инерционности, помехозащищенности, производительности измерений, сложности оптической схемы. Лазерная термометрия применяется в условиях, где традиционные методы оказались неэффективными: при взаимодействии газоразрядной плазмы, ионных или лазерных пучков с поверхностью, при нанесении тонких пленок и травлении микроструктур интегральных схем. Книга адресована специалистам в области термометрии, теплофизики, физики плазмы и газового разряда, плазмохимии, гетерогенного катализа, микроэлектроники, плазменно-пучковых технологий обработки твердого тела.
Автор
Издательство ООО "Физматлит"
Дата издания 2001
Кол-во страниц 224
ISBN 978-5-9221-0222-3
Тематика Фундаментальная и прикладная физика. Астрономия и астрофизика (н)
№ в каталоге 222

Категории: Научная литература