Автоэмиссионные наноструктуры и приборы на их основе

В книге дан анализ современного состояния и тенденций развития вакуумной микро- и наноэлектроники. Рассмотрены физико-химические основы процесса создания нового класса автоэмиссионных наноструктур на базе нанопористого анодного оксида алюминия. Приведены результаты исследований их геометрических параметров, элементного состава и эмиссионных характеристик. Представлена принципиально новая интегральная технология создания наноструктурных автоэлектронных микроприборов и систем их межсоединений на основе тонких пленок вентильных металлов и их анодных оксидов. Изложены физические основы процедуры моделирования и расчета характеристик этих микроприборов. Приведены их экспериментальные и расчетные характеристики. Предназначается для научных и инженерно-технических работников, аспирантов и студентов старших курсов, специализирующихся в области физической электроники, микро- и наноэлектроники. sooРецензенты: 1.Заслуженный деятель науки РФ, доктор физико-математических наук, профессор В.В. Мериакри, ИРЭ РАН. 2.Доктор физико-математических наук, профессор Е.П. Шешин, зам. заведующего кафедрой <<Вакуумной электроники>> факультета физической и квантовой электроники Московского физико-технического института.